微机电系统
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基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置
MEMS电场传感器
非接触式测量
静电测量装置
25浏览2025-07-18上传pdf2.23MB共6页未评分
基于RF-MEMS开关网络的电调滤波器
RF-MEMS开关
电调滤波器
可调谐滤波
28浏览2025-07-18上传pdf3.55MB共4页未评分
内置MEMS隔断机构的微起爆装置
MEMS
隔断机构
微起爆装置
27浏览2025-07-18上传pdf0.75MB共5页未评分
静电驱动阶梯型微悬臂梁振动特性分析
静电驱动
阶梯型微悬臂梁
振动特性
33浏览2025-07-17上传pdf0.36MB共8页未评分
一种基于MEMS技术的声矢量传感器
MEMS技术
声矢量传感器
微机电系统
22浏览2025-07-17上传pdf2.4MMB共7页未评分
压电氮化铝谐振器与滤波器
压电效应
氮化铝
谐振器
29浏览2025-07-17上传pdf3.02MB共21页未评分
新型MEMS静电场传感器原理、标定及应用
MEMS
静电场传感器
标定方法
33浏览2025-07-17上传pdf1.75MB共6页未评分
用于微光机械加速度计的耦合器设计
微光机械加速度计
耦合器设计
光学传感
27浏览2025-07-17上传pdf0.6MMB共3页未评分
用于深空探测的MEMS压力传感器研究现状与发展趋势
MEMS压力传感器
深空探测
航天器
28浏览2025-07-17上传pdf4.45MB共10页未评分
GBT 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
微机电系统
MEMS
术语
30浏览2025-06-09上传pdf0.76MB未评分
GBT 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
微机电系统
MEMS
微机械量
25浏览2025-06-09上传pdf0.44MB未评分
GBT 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
微机电系统
MEMS
微几何量
26浏览2025-06-09上传pdf0.42MB未评分
GBT 28274-2012 硅基MEMS制造技术.版图设计基本规则
硅基MEMS
制造技术
版图设计
35浏览2025-06-09上传pdf0.53MB未评分
GBT 28276-2012 硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
硅基MEMS
体硅溶片工艺
制造技术
35浏览2025-06-09上传pdf0.65MB未评分
GBT 28275-2012 硅基MEMS制造技术.氢氧化钾腐蚀工艺规范
硅基MEMS
氢氧化钾腐蚀
制造技术
35浏览2025-06-09上传pdf0.41MB未评分