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GB/T 13388-2009 标准详情

GB/T 13388-2009 现行
硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

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标准状态

2009-10-30
2010-06-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
H80
29.045
国家标准
现行
GB/T 13388-2009
硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

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