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GB/T 6621-2009 标准详情

GB/T 6621-2009 现行

硅片表面平整度测试方法

Testing methods for surface flatness of silicon slices

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标准状态

发布日期2009-10-30

实施日期2010-06-01

标准信息

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H80

国际标准分类号29.045

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 6621-2009

标准名硅片表面平整度测试方法

标准英文名Testing methods for surface flatness of silicon slices

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