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GB/T 19922-2005 标准详情

GB/T 19922-2005 现行
硅片局部平整度非接触式标准测试方法
Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning

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标准状态

2005-09-19
2006-04-01

标准信息

工业和信息化部（电子）
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
工业和信息化部（电子）
H17
77.040.01
国家标准
现行
GB/T 19922-2005
硅片局部平整度非接触式标准测试方法
Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning

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