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GB/T 26070-2010 标准详情

GB/T 26070-2010 现行
化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

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标准状态

2011-01-10
2011-10-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H17
77.040.99
国家标准
现行
GB/T 26070-2010
化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

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