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GB/T 29844-2013 标准详情

GB/T 29844-2013 现行
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy

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标准状态

2013-11-12
2014-04-15

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
L90
31.030
国家标准
现行
GB/T 29844-2013
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy

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