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SJ/T 11763-2020 标准详情

SJ/T 11763-2020 现行
半导体制造设备人机界面规范

标准内容导航

标准状态

2020-12-09
2021-04-01

标准信息

工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
L95
31.55
基础标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11763-2020
半导体制造设备人机界面规范

适用范围

适用于半导体制造设备

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳 等

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