电子薄膜
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YST 819-2012 电子薄膜用高纯铜溅射靶材
高纯铜
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YST 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
高纯钛
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YST 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
高纯金属
溅射靶材
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GBT 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
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