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SJT 31112-1994 WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法
扩散系统
微控
完好要求

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SJT 31114-1994 TY系列辊道推板窑完好要求和检查评定方法
辊道推板窑
完好要求
检查评定

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SJT 31116-1994 PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法
光刻机
PLA-501F型
完好要求

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SJT 31117-1994 15B型磨片机完好要求和检查评定方法
磨片机
完好要求
检查评定

11浏览2025-06-09上传pdf0.06MB未评分

SJT 31118-1994 RS-H80H型外圆 磨机完好要求和检查评定方法
外圆磨机
完好要求
检查方法

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SJT 31119-1994 掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查方法

15浏览2025-06-09上传pdf0.09MB未评分

SJT 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查评定方法

14浏览2025-06-09上传pdf0.1MB未评分

SJT 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查评定方法

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SJT 31125-1994 PET-5500型常压CVD完好要求和检查评定方法
CVD
完好要求
检查评定方法

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SJT 31126-1994 YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法
MOCVD设备
完好要求
检查评定方法

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