半导体
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炭炭复合材料
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YST 1353-2020 掺锡氧化铟粉
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YST 1371-2020 离子注入机用钨材
离子注入机
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硅片
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检验方法
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微粒沾污
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YST 28-1992 硅片包装
硅片
包装
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YST 792-2012 单晶炉用碳碳复合材料坩埚
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单晶炉
坩埚
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YST 840-2012 再生硅料分类和技术条件
再生硅料
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YST 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
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GBT 10118-2009 高纯镓
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GBT 11068-1989 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
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