半导体
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GBT 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法
硅晶锭
尺寸测定
激光法
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GBT 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材
集成电路
高纯铜合金
靶材
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GBT 40418-2021 电子特气 氟甲烷
氟甲烷
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GBT 40577-2021 集成电路制造设备术语
集成电路
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术语
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GBT 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环
刻蚀机
硅电极
硅环
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GBT 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷
六氯乙硅烷
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GBT 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法
硅片
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检测
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GBT 43662-2024 蓝宝石图形化衬底片
蓝宝石
图形化衬底片
半导体
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GBT 43976-2024 电子气体 四氟甲烷
电子气体
四氟甲烷
纯度
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GBT 44076-2024 纳米技术 碳纳米管电学特性测试方法
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电学特性
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GBT 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法
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GBT 6520-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法
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GBT 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
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GBT 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
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电阻率
测定
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GBT 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法
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9 浏览量2025-06-08上传pdf0.54MB暂未评分