GBT 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
三氯氢硅
硅外延
半导体材料

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GBT 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
氮化物外延片
晶格常数
测试方法

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GBT 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
氮化物外延片
结晶质量
测试方法

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GBT 30656-2014 碳化硅单晶抛光片
碳化硅
单晶
抛光片

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GBT 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底
LED
磷化镓衬底
外延芯片

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GBT 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底
砷化镓衬底
LED外延芯片
半导体材料

19浏览2025-06-09上传pdf0.43MB未评分

GBT 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
蓝宝石衬底片
厚度测试
厚度变化

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GBT 30861-2014 太阳能电池用锗衬底片
太阳能电池
锗衬底片
半导体材料

13浏览2025-06-09上传pdf0.35MB未评分

GBT 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法
碳化硅
单晶片
直径

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GBT 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
蓝宝石衬底片
弯曲度
测试方法

21浏览2025-06-09上传pdf0.35MB未评分

GBT 31469-2015 半导体材料切削液
半导体材料
切削液
加工

14浏览2025-06-09上传pdf0.29MB未评分

GBT 34210-2017 蓝宝石单晶晶向测定方法
蓝宝石单晶
晶向测定
光学晶体

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GBT 34213-2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝
蓝宝石衬底
高纯氧化铝
半导体材料

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GBT 35307-2017 流化床法颗粒硅
颗粒硅
流化床法
多晶硅

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GBT 35308-2017 太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片
太阳能电池
锗基
Ⅲ-Ⅴ族化合物

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