半导体材料
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TIAWBS 002-2017 碳化硅外延片表面缺陷测试方法
碳化硅
外延片
表面缺陷
9 浏览量2025-06-02上传pdf3.38MB暂未评分
TZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
重掺磷
12 浏览量2025-06-02上传pdf0.52MB暂未评分
TIAWBS 007-2018 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
碳化硅
同质外延层
厚度测量
10 浏览量2025-06-02上传pdf0.98MB暂未评分
TIAWBS 008-2019 SiC晶片的残余应力检测方法
SiC晶片
残余应力
检测方法
8 浏览量2025-06-02上传pdf0.6MB暂未评分
TZSA 38-2020 SiC晶片的残余应力检测方法
SiC晶片
残余应力
检测方法
9 浏览量2025-06-02上传pdf1.24MB暂未评分
TIAWBS 014-2021 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
碳化硅
单晶抛光片
位错密度
12 浏览量2025-06-02上传pdf0.91MB暂未评分
TIAWBS 001-2021 碳化硅单晶
碳化硅单晶
半导体材料
晶体生长
6 浏览量2025-06-02上传pdf0.71MB暂未评分
TCASAS 014-2021 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法
碳化硅衬底
基平面弯曲
高分辨X射线衍射法
7 浏览量2025-06-02上传pdf0.64MB暂未评分
TZZB 2675-2022 TVS用硅单晶研磨片
硅单晶
研磨片
TVS
8 浏览量2025-06-02上传pdf1.86MB暂未评分
TCCGA 30005-2021 电子级碳酰氟
电子级碳酰氟
纯度
杂质
10 浏览量2025-06-02上传pdf0.6MB暂未评分
TNXCL 017-2022 300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
磷掺杂
10 浏览量2025-06-02上传pdf0.3MB暂未评分
TNXCL 016-2022 200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
重掺锑
10 浏览量2025-06-02上传pdf0.29MB暂未评分
TZZB 2833-2022 高压MOSFET用200 mm硅外延片
高压MOSFET
硅外延片
200mm
16 浏览量2025-06-02上传pdf2MB暂未评分
TCASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
碳化硅晶片
金属元素含量
电感耦合等离子体质谱法
8 浏览量2025-06-02上传pdf0.69MB暂未评分
TCASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
碳化硅
少数载流子寿命
微波光电导衰减法
14 浏览量2025-06-02上传pdf0.74MB暂未评分