GBT 35307-2023 流化床法颗粒硅
颗粒硅
流化床法
多晶硅

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GBT 35310-2017 200mm硅外延片
硅外延片
200mm
半导体材料

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GBT 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
氮化物半导体
氢化物气相外延
设备

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GBT 36656-2018 电子级三乙基镓
三乙基镓
电子级
半导体材料

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磷化铟
多晶
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电子级三甲基镓
纯度
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电子级三甲基铟
纯度
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电感耦合等离子体质谱法

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氯离子
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氮化镓
镁含量
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GBT 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
硅片
金属元素
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碲锌镉靶材
薄膜太阳能电池
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GBT 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
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硅抛光片
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