半导体设备
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SJT 31111-1994 AMC-781121型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
外延炉
完好要求
检查评定
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SJT 31119-1994 掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查方法
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SJT 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查评定方法
7 浏览量2025-06-09上传pdf0.09MB暂未评分
SJT 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查评定方法
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SJT 31124-1994 AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法
CVD
完好要求
检查评定
8 浏览量2025-06-09上传pdf0.07MB暂未评分
SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
微机扩散炉
完好要求
检查评定
6 浏览量2025-06-09上传pdf0.08MB暂未评分
SJT 31131-1994 4304型扩散炉完好要求和检查评定方法
扩散炉
完好要求
检查评定方法
12 浏览量2025-06-09上传pdf0.06MB暂未评分
GBT 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
半导体设备
可靠性
可用性
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GBT 41213-2021 集成电路用全自动装片机
集成电路
全自动装片机
半导体设备
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GBT 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
机械电气安全
半导体设备
技术条件
11 浏览量2025-06-08上传pdf1.62MB暂未评分
SJT 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法
掩模对准曝光机
测试方法
半导体设备
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TZSA 224-2024 半导体设备前端模块
半导体设备
前端模块
制造
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TCPIA 0059-2024 晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备
晶体硅光伏电池
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光伏制造
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TCI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求
半导体设备
隔振系统
设计
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TGVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范
半导体设备
低温泵
评价规范
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