半导体设备
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SJT 31068-1994 离子注入机完好要求和检查评定方法
离子注入机
完好要求
检查
22浏览2025-06-09上传pdf0.09MB未评分
SJT 31069-1994 PRS-801型等离子去胶机完好要求和检查评定方法
等离子去胶机
PRS-801型
完好要求
16浏览2025-06-09上传pdf0.07MB未评分
SJT 31070-1994 1482型键合机完好要求和检查评定方法
键合机
完好要求
检查评定
17浏览2025-06-09上传pdf0.07MB未评分
SJT 31111-1994 AMC-781121型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
外延炉
完好要求
检查评定
17浏览2025-06-09上传pdf0.09MB未评分
SJT 31119-1994 掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查方法
20浏览2025-06-09上传pdf0.09MB未评分
SJT 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查评定方法
18浏览2025-06-09上传pdf0.1MB未评分
SJT 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
掩膜对准曝光机
完好要求
检查评定方法
12浏览2025-06-09上传pdf0.09MB未评分
SJT 31124-1994 AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法
CVD
完好要求
检查评定
17浏览2025-06-09上传pdf0.07MB未评分
SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
微机扩散炉
完好要求
检查评定
15浏览2025-06-09上传pdf0.08MB未评分
SJT 31131-1994 4304型扩散炉完好要求和检查评定方法
扩散炉
完好要求
检查评定方法
19浏览2025-06-09上传pdf0.06MB未评分
GBT 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
半导体设备
可靠性
可用性
17浏览2025-06-09上传pdf1.4MB未评分
GBT 41213-2021 集成电路用全自动装片机
集成电路
全自动装片机
半导体设备
14浏览2025-06-08上传pdf0.44MB未评分
GBT 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
机械电气安全
半导体设备
技术条件
15浏览2025-06-08上传pdf1.62MB未评分
SJT 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法
掩模对准曝光机
测试方法
半导体设备
16浏览2025-06-07上传pdf0.23MB未评分
TZSA 224-2024 半导体设备前端模块
半导体设备
前端模块
制造
17浏览2025-06-02上传pdf1.27MB未评分