半导体制造装置&CKD
半导体制造装置
CKD
集成电路

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实施国家科技重大专项推进IC装备产业发展
国家科技重大专项
IC装备产业
半导体设备

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GBT 13539.4-2005 低压熔断器 第4部分;半导体设备保护用熔断体的补充要求
低压熔断器
半导体设备
保护用熔断体

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GBT 13539.4-2009 低压熔断器.第4部分:半导体设备保护用熔断体的补充要求
低压熔断器
半导体设备
保护用熔断体

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GBT 13539.7-2005 低压熔断器 第4部分;半导体设备保护用熔断体的补充要求 第1至3篇:标准化熔断体示例
低压熔断器
半导体设备
保护用熔断体

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GBT 15862-1995 离子注入机通用技术条件
离子注入机
通用技术条件
半导体设备

4 浏览量2025-06-09上传pdf0.61MB暂未评分

GBT 15862-2012 离子注入机通用规范
离子注入机
通用规范
半导体设备

8 浏览量2025-06-09上传pdf0.42MB暂未评分

GBT 15872-2013 半导体设备电源接口
半导体设备
电源接口
电气连接

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GBT 15872-1995 半导体设备电源接口
半导体设备
电源接口
电气连接

11 浏览量2025-06-09上传pdf0.17MB暂未评分

SJT 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范
卧式液相外延系统
通用规范
半导体设备

7 浏览量2025-06-09上传pdf0.18MB暂未评分

SJT 11761-2020 200 mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
半导体设备
晶圆
装载端口

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SJT 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求
半导体设备
制造信息
标识要求

7 浏览量2025-06-09上传pdf7.61MB暂未评分

SJT 31068-1994 离子注入机完好要求和检查评定方法
离子注入机
完好要求
检查

15 浏览量2025-06-09上传pdf0.09MB暂未评分

SJT 31069-1994 PRS-801型等离子去胶机完好要求和检查评定方法
等离子去胶机
PRS-801型
完好要求

10 浏览量2025-06-09上传pdf0.07MB暂未评分

SJT 31070-1994 1482型键合机完好要求和检查评定方法
键合机
完好要求
检查评定

9 浏览量2025-06-09上传pdf0.07MB暂未评分