硅外延层
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YST 23-1992 硅外延层厚度测定.堆垛层错尺寸法
硅外延层
厚度测定
堆垛层错
11 浏览量2025-06-10上传pdf0.09MB暂未评分
GBT 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定
硅外延层
扩散层
离子注入层
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GBT 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法
硅外延层
扩散层
离子注入层
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GBT 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法
硅外延层
晶体完整性
检查方法
6 浏览量2025-06-09上传pdf0.44MB暂未评分
GBT 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
硅外延层
晶体完整性
腐蚀法
8 浏览量2025-06-09上传pdf1.32MB暂未评分
GBT 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法
硅外延层
堆垛层错密度
干涉相衬显微镜法
7 浏览量2025-06-09上传pdf0.3MB暂未评分
GBT 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
硅外延层
载流子浓度
探针电容
11 浏览量2025-06-09上传pdf0.37MB暂未评分
GBT 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法
硅外延层
载流子浓度
汞探针
4 浏览量2025-06-09上传pdf0.8MB暂未评分
GBT 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
红外反射
硅外延层
厚度测量
8 浏览量2025-06-09上传pdf0.48MB暂未评分
GBT 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法
硅外延层
净载流子浓度
电压-电容关系
12 浏览量2025-06-09上传pdf0.77MB暂未评分
GBT 14863-2013 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法
硅外延层
净载流子浓度
电压电容关系
10 浏览量2025-06-09上传pdf0.45MB暂未评分
SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法（电容-电压法）(暂行)
硅外延层
电阻率
测试方法
6 浏览量2025-06-07上传pdf0.09MB暂未评分
SJT 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针.测试方法
硅外延层
电阻率
三探针
5 浏览量2025-06-07上传pdf0.19MB暂未评分