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硅片
氧沉淀
间隙氧

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YST 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法
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边缘轮廓
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硅片
包装
半导体

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GB 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
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硅片
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测量方法

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GBT 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
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结晶学取向
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直径
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GBT 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
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