GBT 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
硅片
径向电阻率
测量方法

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GBT 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法
硅片
径向电阻率
测量方法

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GBT 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
硅片
结晶学取向
X射线

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GBT 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
硅片
结晶学取向
X射线

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GBT 14140-2009 硅片直径测量方法
硅片
直径
测量方法

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GBT 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
硅片
直径测量
光学投影法

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GBT 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
硅片
直径
测量方法

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GBT 14143-1993 300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
硅片
间隙氧含量
红外吸收

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GBT 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
硅片
抗弯强度
测试方法

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SJT 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
硅片
氧沉淀
间隙氧

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GBT 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
热解吸
气相色谱法
硅片

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硅片
金属沾污
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硅片
切口尺寸
测试方法

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硅片
载流子复合寿命
无接触微波反射

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GBT 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
硅片
硅锭
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