GBT 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
硅外延层
晶体完整性
腐蚀法

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GBT 14143-1993 300-900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
硅片
间隙氧含量
红外吸收

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GBT 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
硅晶体
间隙氧含量
径向变化

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GBT 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量经向变化测量方法
硅晶体
间隙氧含量
经向变化

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GBT 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法
硅外延层
堆垛层错密度
干涉相衬显微镜法

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GBT 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
硅外延层
载流子浓度
探针电容

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GBT 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法
硅外延层
载流子浓度
汞探针

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GBT 14264-1993 半导体材料术语
半导体材料
术语
定义

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GBT 14264-2024 半导体材料术语
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术语
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GBT 14264-2009 半导体材料术语
半导体材料
术语
定义

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GBT 1475-2005 镓
金属镓
化学成分

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GBT 14844-1993 半导体材料牌号表示方法
半导体材料
牌号
表示方法

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牌号
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红外反射
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GBT 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法
半导体材料
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测试方法

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