GBT 29054-2012 太阳能级铸造多晶硅块
太阳能级
铸造多晶硅块
半导体材料

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GBT 29504-2013 300mm 硅单晶
硅单晶
半导体材料
晶体生长

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GBT 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
半导体材料

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GBT 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片
硅单晶
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磨削片

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GBT 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
硅材料
原生缺陷
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GBT 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
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GBT 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
三氯氢硅
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GBT 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
氮化物外延片
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测试方法

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GBT 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
氮化物外延片
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GBT 30656-2014 碳化硅单晶抛光片
碳化硅
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GBT 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底
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GBT 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
蓝宝石衬底片
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锗衬底片
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GBT 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法
碳化硅
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