GBT 12962-1996 硅单晶
硅单晶
半导体材料
晶体结构

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GBT 12963-1996 硅多晶
硅多晶
半导体材料
太阳能级

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GBT 12963-2014 电子级多晶硅
电子级多晶硅
半导体材料
太阳能级

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GBT 12964-2003 硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
半导体材料

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GBT 12964-2018 硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
半导体材料

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GBT 12965-1996 硅单晶切割片和研磨片
硅单晶
切割片
研磨片

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GBT 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
硅单晶
切割片
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GBT 12965-2005 硅单晶切割片和研磨片
硅单晶
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GBT 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
硅片
结晶学取向
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GBT 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
硅片
结晶学取向
X射线

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GBT 14015-1992 硅-兰宝石外延片
兰宝石
外延片

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GBT 14139-1993 硅外延片
硅外延片
半导体材料
外延技术

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GBT 14139-2009 硅外延片
硅外延片
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GBT 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
硅片
直径
测量方法

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GBT 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法
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检查方法

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