GBT 1550-2018 非本征半导体材料导电类型测试方法
半导体材料
导电类型
测试方法

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GBT 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法
硅单晶
电阻率
测定方法

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GBT 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
硅单晶
锗单晶
电阻率测定

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GBT 1553-2009 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
少数载流子寿命

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GBT 1553-2023 硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法
少数载流子寿命

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GBT 1553-1997 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
少数载流子寿命

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GBT 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
硅晶体
完整性
化学择优腐蚀

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GBT 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
硅晶体
间隙氧
红外吸收

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GBT 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
硅晶体
间隙氧
红外吸收

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GBT 1558-2023 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
碳含量
红外吸收

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GBT 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
硅片
抗弯强度
测试方法

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GBT 15713-1995 锗单晶片
锗单晶片
半导体材料
晶体质量

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SJT 10625-1995 锗单晶体中间隙氧含量的红外吸收测定方法
锗单晶体
间隙氧含量
红外吸收

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SJT 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
硅片
氧沉淀
间隙氧

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SJT 11775-2021 半导体材料多线切割机
半导体材料
多线切割机
设备要求

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