半导体材料
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GBT 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
蓝宝石衬底片
弯曲度
测试方法
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GBT 31469-2015 半导体材料切削液
半导体材料
切削液
加工
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GBT 34210-2017 蓝宝石单晶晶向测定方法
蓝宝石单晶
晶向测定
光学晶体
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GBT 34213-2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝
蓝宝石衬底
高纯氧化铝
半导体材料
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GBT 35305-2017 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片
砷化镓单晶抛光片
太阳能电池
半导体材料
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GBT 35307-2017 流化床法颗粒硅
颗粒硅
流化床法
多晶硅
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GBT 35308-2017 太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片
太阳能电池
锗基
Ⅲ-Ⅴ族化合物
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GBT 35307-2023 流化床法颗粒硅
颗粒硅
流化床法
多晶硅
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GBT 35310-2017 200mm硅外延片
硅外延片
200mm
半导体材料
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GBT 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
氮化物半导体
氢化物气相外延
设备
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GBT 36656-2018 电子级三乙基镓
三乙基镓
电子级
半导体材料
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GBT 36706-2018 磷化铟多晶
磷化铟
多晶
半导体材料
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GBT 37007-2018 电子级三甲基镓
电子级三甲基镓
纯度
半导体材料
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GBT 37030-2018 电子级三甲基铟
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纯度
半导体材料
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GBT 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
电子级多晶硅
金属杂质
电感耦合等离子体质谱法
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